Уважаемые авторы и читатели!
Научный журнал «Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS» (ISSN 1537-1646) включён в белый список научных журналов (уровень 2) и базу Web of Science (SCIE).
Издатель: SPIE (US).
Основные тематики по данным OpenAlex: Advancements in Photolithography Techniques, Nanofabrication and Lithography Techniques, Integrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis, Optical Coatings and Gratings, Electron and X-Ray Spectroscopy Techniques.
Журнал работает по модели закрытого доступа.
Включение в белый список подтверждает соответствие издания требованиям к публикациям по медицинским направлениям.
Ниже приведены официальные ссылки и справочные сведения для подготовки рукописи и проверки актуальности журнала.